固定风机频率，洁净工作台应稳定运行并完成自净状态。悬浮粒子计数器自净结束后，将采样管连接到计数器的采样端上。将采样口在过滤器出风端距过滤器20～30mm，以5～20mm/s的扫描速率移动，使采样口扫测过滤器的整个出风端一侧和每个组合过滤片的边缘，扫测路线应略微重叠。围绕整个过滤器外围、沿组合过滤片和框架的连接处以及围绕过滤器和设备之间的密封处仔细扫测。高效过滤器检漏确认：≥0.5um微粒应无快速增长现象且≤3520个／m³